生意社8月4日訊 Trelleborg Sealing Solutions公司宣布其專(zhuān)利產(chǎn)品Turcon®Variseal®PS材料即將下線(xiàn)，該材料是一種聚醚醚酮增強(qiáng)型密封用材料，在半導(dǎo)體濕法工藝應(yīng)用中具有極低的泄漏。它是一個(gè)全聚合物無(wú)金屬成分的產(chǎn)品。對(duì)傳統(tǒng)的金屬環(huán)增強(qiáng)型材料Turcon®Variseal®的進(jìn)一步開(kāi)發(fā)所獲得的Variseal®PS材料使用了一種Turcon®外殼以保持其封裝負(fù)荷的可維護(hù)性，聚醚醚酮塑料的使用也提高了封閉性。

　　像半導(dǎo)體工業(yè)這樣的需求，傳統(tǒng)的封裝方法都達(dá)到了極端測(cè)試。所有的金屬材料都受化學(xué)侵蝕制約，不管是什么組分，當(dāng)材料受到侵蝕其密封效果都會(huì)大打折扣。最重要的是，金屬的化學(xué)侵蝕引起的污染對(duì)這類(lèi)敏感的半導(dǎo)體工藝來(lái)說(shuō)是不可接受的。

　　基于其極低的泄漏而在濕法工藝應(yīng)用中的優(yōu)越性

　　“通過(guò)使用一個(gè)聚醚醚酮環(huán)而非金屬環(huán)，有機(jī)物的泄漏風(fēng)險(xiǎn)被極大的降低了。雖然FFKM在一些半導(dǎo)體產(chǎn)品應(yīng)用上表現(xiàn)突出，但是Turcon®PTFE和PEEK的聯(lián)合使用在濕法工藝上更加出色，”Trelleborg Sealing Solutions生產(chǎn)經(jīng)理Stuart Moares說(shuō)到。“通過(guò)測(cè)試著名的FFKM來(lái)對(duì)比PTFE，即使是高純度級(jí)別的FFKM的陽(yáng)離子數(shù)都超過(guò)18000份每10億份，而Varisea®PS卻少于2000份每十億份?！?/P>

　　專(zhuān)利審核中的Turcon Variseal®PS可在高達(dá)華氏攝氏80度/176度的溫度下運(yùn)行，抵抗所有的化學(xué)腐蝕，其承受壓力可達(dá)到400Bar /5800psi。大小從3mm /0.02in至2.3m/90in，有通常的附件或者標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)形圈，這些使得其更易于花樣翻新。